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機械手

 

設備簡介

機械手做爲晶片搬運和鍍膜工藝進程轉換中的履行元件,在半導體行業中普遍運用。該産品采取先輩的構造,進步了手臂的剛性,並有用克制振動,輕量化設計知足高速請求。具有多重平安掩護功效。肘部和腕部靈巧掌握,更節儉空間,順應性更強。是半導體行業弗成缺乏癥結部件之一。

技術參數

構造情勢 柱坐標型/SCARA型 
負載 稱號 晶圓
直徑 Φ200mm/Φ300mm
分量 ≤0.5kg
自在度數 3
最大反轉展轉直徑 520mm
活動規模 起落軸 (Z軸) 50mm
反轉展轉軸 (T軸)  360°
舒展軸 (R軸)  R750mm
最大速度 起落軸 (Z軸) 300mm/s
反轉展轉軸 (T軸)  360°
舒展軸 (R軸)  800mm/s
反復定位精度 起落軸 (Z軸) ±0.1 mm(3σ)
反轉展轉軸 (T軸)  ±0.01°(3σ)
舒展軸 (R軸)  ±0.1 mm(3σ)

 

機械手