機械手
設備簡介
機械手做爲晶片搬運和鍍膜工藝進程轉換中的履行元件，在半導體行業中普遍運用。該産品采取先輩的構造，進步了手臂的剛性，並有用克制振動，輕量化設計知足高速請求。具有多重平安掩護功效。肘部和腕部靈巧掌握，更節儉空間，順應性更強。是半導體行業弗成缺乏癥結部件之一。
技術參數
| 構造情勢 | 柱坐標型/SCARA型 | |
| 負載 | 稱號 | 晶圓 |
| 直徑 | Φ200mm/Φ300mm | |
| 分量 | ≤0.5kg | |
| 自在度數 | 3 | |
| 最大反轉展轉直徑 | 520mm | |
| 活動規模 | 起落軸 (Z軸) | 50mm |
| 反轉展轉軸 (T軸) | 360° | |
| 舒展軸 (R軸) | R750mm | |
| 最大速度 | 起落軸 (Z軸) | 300mm/s |
| 反轉展轉軸 (T軸) | 360° | |
| 舒展軸 (R軸) | 800mm/s | |
| 反復定位精度 | 起落軸 (Z軸) | ±0.1 mm(3σ) |
| 反轉展轉軸 (T軸) | ±0.01°(3σ) | |
| 舒展軸 (R軸) | ±0.1 mm(3σ) | |
