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GASS立式甩幹機

       GASS立式甩幹機是高幹凈度沖刷甩幹設備, 具有高幹凈沖刷,高速甩幹,疾速烘幹,效力高的特色,分歧晶圓尺寸,可經由過程疾速改換轉子來完成。是濕法清洗工藝的重要設備,設備自己有單腔室和雙腔室2種構造,體型小運轉安穩。其重要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各類基片等資料的高幹凈度沖刷及枯燥工藝。

GASS立式甩幹機設備特色
· 可以疾速裝配改換轉子;
· 采取直驅式高機能無刷機電;
· 設備正常穩固任務時光≥95%,碎片率低于千分之一;
· 顆粒度增長值 <10 (0.3 micron),甩幹後外面無水漬、無凈化物;
· 零件采取出口PFA/PVDF/PTFE管件/噴嘴;
· 氣動掌握部件采取出口SMC壓力開關/電磁閥;
· 電源主空氣開關帶漏電掩護;
· 當設備湧現異常時,按急停按鈕可停機;
· 動力前提監測及報警;
· 加熱體系超溫掩護;
· 門禁/擺正監測報警。

 

技術參數

設備構造 單腔室
主動化水平 全主動
清洗對象 2-8寸晶片
清洗才能 單腔室2-8寸/1籃,25片/藍          雙腔室2-8寸/2籃,25片/藍
配套花籃 對應轉子同尺寸Entegris(25pcs)花籃(可訂制)
配套轉子 對應尺度尺寸Entegris(25pcs)花籃(可訂制)
馬達額外轉速 300-2800轉/min,馬達最高轉速:3000轉/min
電氣掌握方法 人機界面+ PLC可編程掌握器(最多可存儲10套法式,每套法式8個步調)可顯示並記載比來10條報警內容
設備外形尺寸 PS-1600:單腔室-長X寬X高(單元mm)= 720X450X1510        雙腔室-長X寬X高(單元mm)= 820X450X1810
PS-1800:單腔室-長X寬X高(單元mm)= 760X520X1630        雙腔室-長X寬X高(單元mm)= 860X520X1830

 

 

修面速度 0-250mm/min
外形尺寸 1050mm x 1600mm x 1700mm
設備分量 1800kg
GASS立式甩幹機