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多晶分解爐

多晶分解爐重要用于GaAs、CdTe等多種化合物資料的多晶分解工藝。

 

多晶分解爐設備特色
十年爐體臨盆工藝經歷,壽命長、溫場穩固。
高下溫爐體自力可控,包管了分解過程當中的平安穩固。
頂部水冷體系及精准的工藝流程掌握,晉升工藝保證力。


技術參數

 

電源電壓 380V
控溫精度 ±0.2℃
功率 35kw
爐膛尺寸 120mm
低溫爐體長度 900mm
高溫爐體長度 750mm
低溫爐體歷久任務溫度 1250℃
高溫爐體歷久任務溫度 1250℃
冷卻方法 水冷
爐體構造 臥式多溫區管狀
加熱溫區段數 8段(低溫5段,高溫3段)
顯示及監控段數 8段 (可定制)
掌握方法 微控
升溫超調 優于0.3℃
發展進程慢速降溫超調 優于0.3℃
多晶分解爐