多晶分解爐
多晶分解爐重要用于GaAs、CdTe等多種化合物資料的多晶分解工藝。
多晶分解爐設備特色
十年爐體臨盆工藝經歷，壽命長、溫場穩固。
高下溫爐體自力可控，包管了分解過程當中的平安穩固。
頂部水冷體系及精准的工藝流程掌握，晉升工藝保證力。
技術參數
| 電源電壓 | 380V |
| 控溫精度 | ±0.2℃ |
| 功率 | 35kw |
| 爐膛尺寸 | 120mm |
| 低溫爐體長度 | 900mm |
| 高溫爐體長度 | 750mm |
| 低溫爐體歷久任務溫度 | 1250℃ |
| 高溫爐體歷久任務溫度 | 1250℃ |
| 冷卻方法 | 水冷 |
| 爐體構造 | 臥式多溫區管狀 |
| 加熱溫區段數 | 8段（低溫5段，高溫3段） |
| 顯示及監控段數 | 8段 (可定制) |
| 掌握方法 | 微控 |
| 升溫超調 | 優于0.3℃ |
| 發展進程慢速降溫超調 | 優于0.3℃ |
